一种晶圆清洗装置

被引：0

申请号：

CN202220643749.8

申请日：

2022-03-22

公开(公告)号：

CN216902835U

公开(公告)日：

2022-07-05

发明(设计)人：

翁裕斌朱峰翁伊宁

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区竹园路209号4号楼25层2501-1

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B308 B08B310

代理机构：

重庆莫斯专利代理事务所(普通合伙) 50279

代理人：

易小艺

法律状态：

授权

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-07-05	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗装置 [P].

谈国敏 ;

周峰 .

中国专利 :CN222720352U ,2025-04-04

[2]

一种晶圆清洗装置 [P].

赵岩 ;

樊开明 ;

张礼杰 ;

周建军 .

中国专利 :CN221899975U ,2024-10-25

[3]

晶圆清洗装置及清洗方法 [P].

王爽 ;

高文琳 ;

母凤文 ;

郭超 .

中国专利 :CN117423644A ,2024-01-19

[4]

晶圆清洗装置及晶圆减薄设备 [P].

万先进 ;

单保淋 ;

王冬冬 ;

田鑫 ;

朱松 ;

张怀东 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220672529U ,2024-03-26

[5]

晶圆清洗方法 [P].

王爽 ;

高文琳 ;

母凤文 ;

郭超 .

中国专利 :CN117423644B ,2024-03-05

[6]

一种晶圆双面清洗装置 [P].

郭炳熙 ;

周铁军 ;

胡玉婷 ;

孙美玉 ;

田玉莲 .

中国专利 :CN220491844U ,2024-02-13

[7]

一种晶圆清洗卡具 [P].

刘瑞雄 ;

曾琦 ;

廖彬 ;

周铁军 .

中国专利 :CN220491868U ,2024-02-13

[8]

一种半导体晶圆清洗装置 [P].

杨宝亮 .

中国专利 :CN211678969U ,2020-10-16

[9]

一种晶圆清洗装置 [P].

李晨阳 ;

管飞 ;

邓宏远 ;

邓二平 ;

黄永章 .

中国专利 :CN217474199U ,2022-09-23

[10]

一种晶圆清洗装置 [P].

林擎宇 ;

尚宏博 .

中国专利 :CN211670178U ,2020-10-13

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