一种晶圆清洗装置

被引：0

申请号：

CN202121860389.9

申请日：

2021-08-10

公开(公告)号：

CN217474199U

公开(公告)日：

2022-09-23

发明(设计)人：

李晨阳管飞邓宏远邓二平黄永章

申请人：

申请人地址：

264006 山东省烟台市开发区香港路16号华日工业园2号楼101号

IPC主分类号：

B08B102

IPC分类号：

B08B302 F26B2100 B08B1300 H01L2167

代理机构：

烟台智宇知识产权事务所(特殊普通合伙) 37230

代理人：

李增发

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-23	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗装置 [P].

翁裕斌 ;

朱峰 ;

翁伊宁 .

中国专利 :CN216902835U ,2022-07-05

[2]

一种晶圆清洗装置 [P].

李晨阳 ;

管飞 ;

邓宏远 ;

邓二平 ;

黄永章 .

中国专利 :CN113664009B ,2021-11-19

[3]

一种晶圆清洗装置 [P].

赵岩 ;

樊开明 ;

张礼杰 ;

周建军 .

中国专利 :CN221899975U ,2024-10-25

[4]

晶圆清洗装置 [P].

苏晓平 ;

江彤 .

中国专利 :CN201369318Y ,2009-12-23

[5]

晶圆清洗装置 [P].

孙书雄 ;

张宏权 ;

庄武斌 ;

张锐 ;

李剑 .

中国专利 :CN214588757U ,2021-11-02

[6]

晶圆清洗装置 [P].

万先进 ;

梁志远 ;

李文超 ;

边逸军 .

中国专利 :CN218282848U ,2023-01-13

[7]

晶圆清洗装置 [P].

卢思源 ;

陈章晏 ;

云巴图 ;

颜超仁 .

中国专利 :CN209981177U ,2020-01-21

[8]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203620984U ,2014-06-04

[9]

一种晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

杜博 ;

汪灵哲 ;

晋好然 ;

海森 .

中国专利 :CN118080406A ,2024-05-28

[10]

一种晶圆清洗台及晶圆清洗装置 [P].

兰升友 ;

徐瑞林 .

中国专利 :CN215613584U ,2022-01-25

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