一种晶圆清洗装置

被引：0

申请号：

CN202121860389.9

申请日：

2021-08-10

公开(公告)号：

CN217474199U

公开(公告)日：

2022-09-23

发明(设计)人：

李晨阳管飞邓宏远邓二平黄永章

申请人：

申请人地址：

264006 山东省烟台市开发区香港路16号华日工业园2号楼101号

IPC主分类号：

B08B102

IPC分类号：

B08B302 F26B2100 B08B1300 H01L2167

代理机构：

烟台智宇知识产权事务所(特殊普通合伙) 37230

代理人：

李增发

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-23	授权	授权

共 50 条

[41]

晶圆清洗装置 [P].

唐强 ;

马智勇 .

中国专利 :CN203955646U ,2014-11-26

[42]

晶圆清洗装置 [P].

陈嘉勇 ;

郑志成 ;

苏财宝 ;

林士闵 .

中国专利 :CN216631781U ,2022-05-31

[43]

晶圆清洗装置 [P].

吕慧超 ;

刘家桦 ;

叶日铨 .

中国专利 :CN208848866U ,2019-05-10

[44]

晶圆清洗装置 [P].

陈志鹏 ;

高盼盼 ;

覃源 .

中国专利 :CN221311595U ,2024-07-12

[45]

晶圆清洗装置 [P].

崔亚东 ;

陈章晏 ;

颜超仁 ;

卢思源 ;

王永昌 .

中国专利 :CN209496829U ,2019-10-15

[46]

晶圆清洗装置 [P].

赵黎 ;

刘家桦 ;

卢思源 .

中国专利 :CN208127151U ,2018-11-20

[47]

晶圆清洗装置 [P].

林士闵 ;

郑志成 ;

陈嘉勇 ;

苏财宝 .

中国专利 :CN216728501U ,2022-06-14

[48]

晶圆清洗装置 [P].

王永昌 ;

叶日铨 ;

刘家桦 ;

张文福 .

中国专利 :CN209496831U ,2019-10-15

[49]

晶圆清洗装置 [P].

张家永 ;

高英哲 ;

张文福 .

中国专利 :CN207752978U ,2018-08-21

[50]

晶圆清洗装置 [P].

卢思源 ;

赵黎 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN207752980U ,2018-08-21

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