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一种晶圆清洗装置
被引：0
申请号：
CN202121860389.9
申请日：
2021-08-10
公开(公告)号：
CN217474199U
公开(公告)日：
2022-09-23
发明(设计)人：
李晨阳
管飞
邓宏远
邓二平
黄永章
申请人：
申请人地址：
264006 山东省烟台市开发区香港路16号华日工业园2号楼101号
IPC主分类号：
B08B102
IPC分类号：
B08B302
F26B2100
B08B1300
H01L2167
代理机构：
烟台智宇知识产权事务所(特殊普通合伙) 37230
代理人：
李增发
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-09-23 | 授权 | 授权 |