一种晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421247162.0

申请日：

2024-06-03

公开(公告)号：

CN222720353U

公开(公告)日：

2025-04-04

发明(设计)人：

王裕昌丁荣伟周军孙汉林周士旺

申请人：

上海华岭申瓷集成电路有限责任公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路550,558号1幢厂房

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

B08B3/02 B08B3/08 B08B3/10 B08B1/12 B08B1/32 B08B13/00

代理机构：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-04	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203620984U ,2014-06-04

[2]

一种晶圆清洗台及晶圆清洗装置 [P].

兰升友 ;

徐瑞林 .

中国专利 :CN215613584U ,2022-01-25

[3]

一种晶圆片清洗装置 [P].

钟伟 ;

罗昱 ;

刘颖 ;

张炳伟 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN222826360U ,2025-05-02

[4]

一种晶圆清洗用胶圈及晶圆清洗装置 [P].

蔡春月 ;

汪志宇 .

中国专利 :CN221269032U ,2024-07-05

[5]

一种晶圆清洗设备 [P].

陈新来 ;

邓信甫 ;

唐宝国 ;

卢证凯 .

中国专利 :CN217121195U ,2022-08-05

[6]

一种多功能晶圆清洗装置 [P].

丁荣伟 ;

周军 ;

佘海霞 ;

王裕昌 ;

张周磊 ;

鲍晟 .

中国专利 :CN222094266U ,2024-12-03

[7]

一种晶圆清洗装置 [P].

黄琛 ;

陈佳 ;

陈诗源 ;

马浩然 ;

张耀 ;

张乐 .

中国专利 :CN205488060U ,2016-08-17

[8]

一种晶圆清洗装置 [P].

黄雷 .

中国专利 :CN207806066U ,2018-09-04

[9]

一种晶圆清洗装置 [P].

史春辉 ;

李伟 ;

尹影 ;

李婷 .

中国专利 :CN222872881U ,2025-05-16

[10]

一种晶圆清洗装置 [P].

郭炳熙 ;

周铁军 ;

米艳娇 .

中国专利 :CN213660351U ,2021-07-09

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