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一种晶圆清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022842472.5
申请日：
2020-11-30
公开(公告)号：
CN213660351U
公开(公告)日：
2021-07-09
发明(设计)人：
郭炳熙
周铁军
米艳娇
申请人：
申请人地址：
511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区
IPC主分类号：
H01L2102
IPC分类号：
H01L2167
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
颜希文;黄华莲
法律状态：
专利申请权、专利权的转移
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-12-31 | 专利申请权、专利权的转移 | 专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/02 登记生效日:20211221 变更事项:专利权人 变更前权利人:广东先导先进材料股份有限公司 变更后权利人:广东先导微电子科技有限公司 变更事项:地址 变更前权利人:511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号B区 变更后权利人:511517 广东省清远市高新区创兴三路16号A车间 |
| 2021-07-09 | 授权 | 授权 |