一种圆晶加工用清洗装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202023074058.0
申请日
2020-12-19
公开(公告)号
CN214336683U
公开(公告)日
2021-10-01
发明(设计)人
廖红伟 沈国平 刘洋博
申请人
申请人地址
332500 江西省九江市湖口县双钟镇三里大道上埠路56号
IPC主分类号
H01L2167
IPC分类号
B08B302
代理机构
北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616
代理人
叶似锦
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种晶圆加工用清洗装置 [P]. 
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吴昊 .
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[2]
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[7]
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