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一种晶圆加工用清洗装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421749712.9
申请日：
2024-07-23
公开(公告)号：
CN222851395U
公开(公告)日：
2025-05-09
发明(设计)人：
冯羽
吴昊
申请人：
嘉兴傲威半导体有限公司
申请人地址：
314000 浙江省嘉兴市海宁市马桥街道沧平路1号1幢1层103室(自主申报)
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/677
B08B11/00
B08B3/02
代理机构：
无锡知更鸟知识产权代理事务所(普通合伙) 32468
代理人：
于富磊
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-05-09 | 授权 | 授权 |