一种多功能晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421205716.0

申请日：

2024-05-30

公开(公告)号：

CN222094266U

公开(公告)日：

2024-12-03

发明(设计)人：

丁荣伟周军佘海霞王裕昌张周磊鲍晟

申请人：

上海华岭申瓷集成电路有限责任公司

申请人地址：

201306 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路550,558号1幢厂房

IPC主分类号：

B08B11/00

IPC分类号：

H01L21/67 B08B1/12 B08B11/02 B08B3/08 B08B3/10 B08B1/34 F26B21/00

代理机构：

上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306

代理人：

谢小军

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗装置 [P].

王裕昌 ;

丁荣伟 ;

周军 ;

孙汉林 ;

周士旺 .

中国专利 :CN222720353U ,2025-04-04

[2]

一种晶圆清洗装置 [P].

刘全益 ;

胡敬祥 .

中国专利 :CN218160292U ,2022-12-27

[3]

一种多功能晶圆清洗花篮 [P].

韩亚萍 ;

胡路 .

中国专利 :CN216354098U ,2022-04-19

[4]

一种多功能晶圆清洗盘 [P].

王孝军 ;

范亚飞 .

中国专利 :CN212485284U ,2021-02-05

[5]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

贺贤汉 ;

杉原一男 ;

佐藤泰幸 ;

原英樹 .

中国专利 :CN215844496U ,2022-02-18

[6]

一种晶圆片清洗装置 [P].

袁祥龙 ;

刘园 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

常雪岩 ;

裴坤羽 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

张宏杰 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN214417128U ,2021-10-19

[7]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203620984U ,2014-06-04

[8]

一种晶圆清洗毛刷及晶圆清洗装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221602607U ,2024-08-27

[9]

一种晶圆片清洗装置 [P].

吴琼 ;

李永峰 .

中国专利 :CN207338322U ,2018-05-08

[10]

一种晶圆清洗台及晶圆清洗装置 [P].

兰升友 ;

徐瑞林 .

中国专利 :CN215613584U ,2022-01-25

← 1 2 3 4 5 →