一种晶圆清洗装置

被引：0

申请号：

CN202221632767.2

申请日：

2022-06-28

公开(公告)号：

CN218160292U

公开(公告)日：

2022-12-27

发明(设计)人：

刘全益胡敬祥

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市光明区公明街道上村社区元山工业区B区第34栋201

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21683 B08B1300

代理机构：

深圳国新南方知识产权代理有限公司 44374

代理人：

周雷

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-27	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗装置双层快门结构及晶圆清洗装置 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

陶彦 ;

潘灵豪 ;

沈文镇 .

中国专利 :CN223006737U ,2025-06-20

[2]

晶圆清洗装置 [P].

万先进 ;

韦俊丞 ;

李俊 ;

尤国振 ;

朱松 ;

张怀东 ;

边逸军 .

中国专利 :CN220553429U ,2024-03-01

[3]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

贺贤汉 ;

杉原一男 ;

佐藤泰幸 ;

原英樹 .

中国专利 :CN215844496U ,2022-02-18

[4]

一种晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 [P].

唐强 .

中国专利 :CN203620984U ,2014-06-04

[5]

一种晶圆清洗毛刷及晶圆清洗装置 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN221602607U ,2024-08-27

[6]

一种晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P].

许振杰 ;

王剑 ;

白羽 .

中国专利 :CN111558559A ,2020-08-21

[7]

一种晶圆清洗台及晶圆清洗装置 [P].

兰升友 ;

徐瑞林 .

中国专利 :CN215613584U ,2022-01-25

[8]

一种晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P].

许振杰 .

中国专利 :CN111554569A ,2020-08-18

[9]

一种晶圆插片翻转装置及晶圆清洗装置 [P].

李鹏 ;

王佳伟 ;

曹刚 .

中国专利 :CN222838802U ,2025-05-06

[10]

一种晶圆清洗用胶圈及晶圆清洗装置 [P].

蔡春月 ;

汪志宇 .

中国专利 :CN221269032U ,2024-07-05

← 1 2 3 4 5 →