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一种晶圆清洗装置和晶圆清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010434787.8
申请日：
2020-05-21
公开(公告)号：
CN111558559A
公开(公告)日：
2020-08-21
发明(设计)人：
许振杰
王剑
白羽
申请人：
申请人地址：
300350 天津市津南区咸水沽海河科技园聚兴道9号8号楼
IPC主分类号：
B08B102
IPC分类号：
B08B302
B08B308
B08B1300
H01L2102
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-08-21 | 公开 | 公开 |
| 2020-09-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 1/02 申请日:20200521 |