晶圆清洗装置和晶圆清洗方法

被引：0

申请号：

CN202210771203.5

申请日：

2022-06-30

公开(公告)号：

CN114999967A

公开(公告)日：

2022-09-02

发明(设计)人：

陈海龙李在桓陈光林曲迪张迪

申请人：

申请人地址：

710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21687 H01L2102 B08B302 B08B310

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

李清风

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-09-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20220630
2022-09-02	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P].

陈海龙 ;

李在桓 ;

陈光林 ;

曲迪 ;

张迪 .

中国专利 :CN114999967B ,2025-07-25

[2]

晶圆清洗方法、晶圆清洗装置以及晶圆 [P].

陈亚威 ;

简志宏 .

中国专利 :CN103128073A ,2013-06-05

[3]

晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P].

陶泽魏 ;

胡海波 ;

刘阳 ;

张晓燕 .

中国专利 :CN118116825A ,2024-05-31

[4]

晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P].

任德营 ;

徐融 ;

宋冬门 .

中国专利 :CN112530790A ,2021-03-19

[5]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

汪子文 ;

张利 ;

李名浩 ;

魏星 ;

李炜 .

中国专利 :CN120432405A ,2025-08-05

[6]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

刘佳奇 ;

姚零一 .

中国专利 :CN117476438A ,2024-01-30

[7]

晶圆清洗装置与晶圆清洗方法 [P].

祝君龙 ;

李君 ;

顾立勋 ;

赖睿彬 .

中国专利 :CN113020078A ,2021-06-25

[8]

晶圆清洗装置及其晶圆清洗方法 [P].

李丹 ;

高英哲 ;

张文福 ;

叶日铨 ;

刘家桦 .

中国专利 :CN109065475A ,2018-12-21

[9]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

李丹 ;

高英哲 ;

崔亚东 ;

张文福 .

中国专利 :CN108213016B ,2018-06-29

[10]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

史进 .

中国专利 :CN109994372A ,2019-07-09

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