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晶圆清洗装置及晶圆清洗方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202510559337.4
申请日：
2025-04-29
公开(公告)号：
CN120432405A
公开(公告)日：
2025-08-05
发明(设计)人：
汪子文 张利 李名浩 魏星 李炜
申请人：
上海新傲芯翼科技有限公司
申请人地址：
201815 上海市嘉定区新徕路168号2幢1楼
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
B08B3/02 B08B3/08 B08B3/12 B08B13/00 H01L21/02
代理机构：
上海思捷知识产权代理有限公司 31295
代理人：
王思琦
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-08-22 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250429
2025-08-05 公开 公开
共 50 条
[1]
晶圆清洗方法、晶圆清洗装置以及晶圆 [P]. 
陈亚威 ;
简志宏 .
中国专利 :CN103128073A ,2013-06-05
[2]
晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P]. 
刘佳奇 ;
姚零一 .
中国专利 :CN117476438A ,2024-01-30
[3]
晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P]. 
陈海龙 ;
李在桓 ;
陈光林 ;
曲迪 ;
张迪 .
中国专利 :CN114999967B ,2025-07-25
[4]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
李丹 ;
高英哲 ;
崔亚东 ;
张文福 .
中国专利 :CN108213016B ,2018-06-29
[5]
晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P]. 
史进 .
中国专利 :CN109994372A ,2019-07-09
[6]
晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P]. 
陈海龙 ;
李在桓 ;
陈光林 ;
曲迪 ;
张迪 .
中国专利 :CN114999967A ,2022-09-02
[7]
晶圆清洗装置、晶圆处理设备及晶圆清洗方法 [P]. 
不公告发明人 .
中国专利 :CN112233996A ,2021-01-15
[8]
晶圆清洗装置及清洗晶圆的方法 [P]. 
吕庚陆 .
中国专利 :CN114649233A ,2022-06-21
[9]
晶圆清洗装置及清洗晶圆的方法 [P]. 
吕庚陆 .
中国专利 :CN114649233B ,2025-08-22
[10]
晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P]. 
金在植 ;
张成根 ;
林锺吉 ;
贺晓彬 ;
刘强 ;
丁明正 .
中国专利 :CN114361060A ,2022-04-15
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