晶圆清洗装置及其晶圆清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810811487.X

申请日：

2018-07-23

公开(公告)号：

CN109065475A

公开(公告)日：

2018-12-21

发明(设计)人：

李丹高英哲张文福叶日铨刘家桦

申请人：

申请人地址：

223302 江苏省淮安市淮阴区长江东路599号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

武振华;吴敏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-15	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20180723
2020-12-29	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/67 申请公布日:20181221
2018-12-21	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P].

任德营 ;

徐融 ;

宋冬门 .

中国专利 :CN112530790A ,2021-03-19

[2]

晶圆清洗方法、晶圆清洗装置以及晶圆 [P].

陈亚威 ;

简志宏 .

中国专利 :CN103128073A ,2013-06-05

[3]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘强 ;

丁明正 .

中国专利 :CN114361060A ,2022-04-15

[4]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

刘佳奇 ;

姚零一 .

中国专利 :CN117476438A ,2024-01-30

[5]

晶圆清洗装置与晶圆清洗方法 [P].

祝君龙 ;

李君 ;

顾立勋 ;

赖睿彬 .

中国专利 :CN113020078A ,2021-06-25

[6]

晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P].

陈海龙 ;

李在桓 ;

陈光林 ;

曲迪 ;

张迪 .

中国专利 :CN114999967B ,2025-07-25

[7]

晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P].

陶泽魏 ;

胡海波 ;

刘阳 ;

张晓燕 .

中国专利 :CN118116825A ,2024-05-31

[8]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

汪子文 ;

张利 ;

李名浩 ;

魏星 ;

李炜 .

中国专利 :CN120432405A ,2025-08-05

[9]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

李丹 ;

高英哲 ;

崔亚东 ;

张文福 .

中国专利 :CN108213016B ,2018-06-29

[10]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

史进 .

中国专利 :CN109994372A ,2019-07-09

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