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一种晶圆清洗装置以及晶圆清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311849734.2
申请日：
2023-12-29
公开(公告)号：
CN117711988A
公开(公告)日：
2024-03-15
发明(设计)人：
申兵兵
李长坤
申请人：
华海清科股份有限公司
申请人地址：
300350 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
B08B3/02
B08B3/08
B08B1/12
B08B1/20
B08B1/34
B08B13/00
代理机构：
代理人：
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
天津市
市辖区
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-04-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20231229 |
| 2024-03-15 | 公开 | 公开 |