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一种晶圆清洗方法及晶圆清洗装置

被引：0
申请号：
CN202111671421.3
申请日：
2021-12-31
公开(公告)号：
CN114472265A
公开(公告)日：
2022-05-13
发明(设计)人：
刘飞 王江涛 刘远航
申请人：
申请人地址：
300350 天津市津南区咸水沽海河科技园聚兴道11号
IPC主分类号：
B08B102
IPC分类号：
B08B1300 H01L2102
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-05-13 公开 公开
2022-05-31 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 1/02 申请日:20211231
2022-11-08 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P]. 
刘佳奇 ;
姚零一 .
中国专利 :CN117476438A ,2024-01-30
[2]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
马玲 ;
韦亚一 ;
徐步青 ;
董立松 .
中国专利 :CN108649006B ,2018-10-12
[3]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
陈海龙 .
中国专利 :CN111009484B ,2020-04-14
[4]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
胡亚林 ;
黄振伟 ;
王昭钦 .
中国专利 :CN112885741B ,2021-06-01
[5]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
汪子文 ;
张利 ;
李名浩 ;
魏星 ;
李炜 .
中国专利 :CN120432405A ,2025-08-05
[6]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
刘卫坤 ;
刘远航 ;
靳凯强 .
中国专利 :CN118431148A ,2024-08-02
[7]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
吴奇龙 .
中国专利 :CN112864043A ,2021-05-28
[8]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
董鹏 .
中国专利 :CN113690127A ,2021-11-23
[9]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
纪登峰 .
中国专利 :CN102319686A ,2012-01-18
[10]
晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P]. 
李丹 ;
高英哲 ;
崔亚东 ;
张文福 .
中国专利 :CN108213016B ,2018-06-29
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