晶圆清洗装置及晶圆清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110247903.6

申请日：

2011-08-26

公开(公告)号：

CN102319686A

公开(公告)日：

2012-01-18

发明(设计)人：

纪登峰

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区浦东张江高科技园区祖冲之路1399号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B1300 H01L2167

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-01-18	公开	公开
2015-04-08	授权	授权
2013-12-25	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101556121912 IPC(主分类):B08B 3/02 专利申请号:2011102479036 申请日:20110826
2014-04-30	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700423807 IPC(主分类):B08B 3/02 专利申请号:2011102479036 变更事项:申请人变更前权利人:上海宏力半导体制造有限公司变更后权利人:上海华虹宏力半导体制造有限公司变更事项:地址变更前权利人:201203 上海市浦东新区浦东张江高科技园区祖冲之路1399号变更后权利人:201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号登记生效日:20140403

共 50 条

[1]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

刘佳奇 ;

姚零一 .

中国专利 :CN117476438A ,2024-01-30

[2]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

马玲 ;

韦亚一 ;

徐步青 ;

董立松 .

中国专利 :CN108649006B ,2018-10-12

[3]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

陈海龙 .

中国专利 :CN111009484B ,2020-04-14

[4]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

胡亚林 ;

黄振伟 ;

王昭钦 .

中国专利 :CN112885741B ,2021-06-01

[5]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

汪子文 ;

张利 ;

李名浩 ;

魏星 ;

李炜 .

中国专利 :CN120432405A ,2025-08-05

[6]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

刘卫坤 ;

刘远航 ;

靳凯强 .

中国专利 :CN118431148A ,2024-08-02

[7]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

吴奇龙 .

中国专利 :CN112864043A ,2021-05-28

[8]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

董鹏 .

中国专利 :CN113690127A ,2021-11-23

[9]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

李丹 ;

高英哲 ;

崔亚东 ;

张文福 .

中国专利 :CN108213016B ,2018-06-29

[10]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

李广宁 ;

沈哲敏 .

中国专利 :CN104078352A ,2014-10-01

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