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一种晶圆清洗装置和晶圆清洗方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011630195.X
申请日：
2020-12-30
公开(公告)号：
CN112768376B
公开(公告)日：
2021-05-07
发明(设计)人：
邓信甫
刘大威
陈丁堃
吴海华
申请人：
申请人地址：
200241 上海市闵行区紫海路170号
IPC主分类号：
H01L2167
IPC分类号：
H01L2102
B08B302
代理机构：
上海申新律师事务所 31272
代理人：
党蕾
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-05-25 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20201230 |
| 2021-05-07 | 公开 | 公开 |
| 2022-12-16 | 授权 | 授权 |