一种晶圆片清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120047010.6

申请日：

2021-01-08

公开(公告)号：

CN214417128U

公开(公告)日：

2021-10-19

发明(设计)人：

袁祥龙刘园武卫刘建伟由佰玲孙晨光王彦君常雪岩裴坤羽祝斌刘姣龙张宏杰谢艳杨春雪刘秒吕莹徐荣清

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B308 B08B1300 F26B2114 H01L2167

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-10-19	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆片清洗装置 [P].

吴琼 ;

李永峰 .

中国专利 :CN207338322U ,2018-05-08

[2]

一种晶圆片清洗装置 [P].

钟伟 ;

罗昱 ;

刘颖 ;

张炳伟 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN222826360U ,2025-05-02

[3]

一种晶圆片表面清洗装置 [P].

周旭 .

中国专利 :CN211879335U ,2020-11-06

[4]

一种晶圆片表面清洗装置 [P].

于如远 ;

李广德 ;

于强 .

中国专利 :CN215314273U ,2021-12-28

[5]

一种晶圆片清洗装置 [P].

王昌华 .

中国专利 :CN208690215U ,2019-04-02

[6]

一种晶圆片清洗装置 [P].

王昌华 .

中国专利 :CN109087874A ,2018-12-25

[7]

一种晶圆片的高效清洗装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN217822712U ,2022-11-15

[8]

一种晶圆片微小颗粒清洗装置 [P].

何建军 ;

沈桂英 ;

赵有文 .

中国专利 :CN218424325U ,2023-02-03

[9]

一种高效晶圆片的清洗装置 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

周兴江 .

中国专利 :CN214012912U ,2021-08-20

[10]

磷化铟晶圆片清洗装置 [P].

韦华 ;

杨春柳 ;

赵兴凯 ;

白良 ;

李世强 ;

黄国勇 ;

钱俊兵 .

中国专利 :CN220426122U ,2024-02-02

← 1 2 3 4 5 →