一种高效晶圆片的清洗装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202023292126.0

申请日：

2020-12-30

公开(公告)号：

CN214012912U

公开(公告)日：

2021-08-20

发明(设计)人：

钱诚李刚周兴江

申请人：

申请人地址：

225300 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

B08B302 B08B310 B08B1300

代理机构：

北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317

代理人：

陈平

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种高效晶圆片的清洗装置 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

周兴江 .

中国专利 :CN112768375B ,2021-05-07

[2]

一种高效晶圆片的清洗方法 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

周兴江 .

中国专利 :CN112820627A ,2021-05-18

[3]

一种晶圆片的高效清洗装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN217822712U ,2022-11-15

[4]

一种晶圆片清洗装置 [P].

钟伟 ;

罗昱 ;

刘颖 ;

张炳伟 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN222826360U ,2025-05-02

[5]

一种晶圆片高效分选的清洗装置 [P].

韦胜 ;

卢凯 ;

盛育 .

中国专利 :CN213887308U ,2021-08-06

[6]

一种晶圆片清洗装置 [P].

袁祥龙 ;

刘园 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

常雪岩 ;

裴坤羽 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

张宏杰 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN214417128U ,2021-10-19

[7]

一种晶圆片清洗装置 [P].

王昌华 .

中国专利 :CN208690215U ,2019-04-02

[8]

一种晶圆片清洗装置 [P].

王昌华 .

中国专利 :CN109087874A ,2018-12-25

[9]

一种晶圆片清洗装置 [P].

吴琼 ;

李永峰 .

中国专利 :CN207338322U ,2018-05-08

[10]

一种晶圆片微小颗粒清洗装置 [P].

何建军 ;

沈桂英 ;

赵有文 .

中国专利 :CN218424325U ,2023-02-03

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