一种晶圆片的高效清洗装置

被引：0

申请号：

CN202221962742.9

申请日：

2022-07-27

公开(公告)号：

CN217822712U

公开(公告)日：

2022-11-15

发明(设计)人：

不公告发明人

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市坪山区龙田街道竹坑社区兰竹东路8号同力兴工业厂区办公楼205

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L2167 B08B302 B08B308 B08B1300

代理机构：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-11-15	授权	授权

共 50 条

[1]

一种高效晶圆片的清洗装置 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

周兴江 .

中国专利 :CN214012912U ,2021-08-20

[2]

一种晶圆片高效分选的清洗装置 [P].

韦胜 ;

卢凯 ;

盛育 .

中国专利 :CN213887308U ,2021-08-06

[3]

一种高效晶圆片的清洗装置 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

周兴江 .

中国专利 :CN112768375B ,2021-05-07

[4]

一种晶圆片表面清洗装置 [P].

周旭 .

中国专利 :CN211879335U ,2020-11-06

[5]

一种晶圆片清洗装置 [P].

袁祥龙 ;

刘园 ;

武卫 ;

刘建伟 ;

由佰玲 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

常雪岩 ;

裴坤羽 ;

祝斌 ;

刘姣龙 ;

张宏杰 ;

谢艳 ;

杨春雪 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN214417128U ,2021-10-19

[6]

一种晶圆片清洗装置 [P].

吴琼 ;

李永峰 .

中国专利 :CN207338322U ,2018-05-08

[7]

一种晶圆片清洗装置 [P].

钟伟 ;

罗昱 ;

刘颖 ;

张炳伟 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN222826360U ,2025-05-02

[8]

一种晶圆片清洗机 [P].

李成 ;

姚禄华 ;

邱立阳 ;

赵江风 ;

张义 .

中国专利 :CN223011322U ,2025-06-24

[9]

一种晶圆片表面清洗装置 [P].

于如远 ;

李广德 ;

于强 .

中国专利 :CN215314273U ,2021-12-28

[10]

晶圆片的清洗装置 [P].

吕耀安 .

中国专利 :CN106449478A ,2017-02-22

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