一种晶圆片清洗机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202421859936.5

申请日：

2024-08-02

公开(公告)号：

CN223011322U

公开(公告)日：

2025-06-24

发明(设计)人：

李成姚禄华邱立阳赵江风张义

申请人：

东莞市鼎力自动化科技有限公司

申请人地址：

523000 广东省东莞市石碣镇石碣铭华路48号3栋

IPC主分类号：

B08B3/08

IPC分类号：

B08B3/02 B08B3/10 B08B13/00 H01L21/67

代理机构：

东莞创博知识产权代理事务所(普通合伙) 44803

代理人：

谢晓云

法律状态：

授权

国省代码：

广东省东莞市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-06-24	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆片全自动清洗设备 [P].

李成 ;

姚禄华 ;

邱立阳 ;

赵江风 ;

张义 .

中国专利 :CN118831884A ,2024-10-25

[2]

一种晶圆片清洗机 [P].

薛小宾 .

中国专利 :CN212494080U ,2021-02-09

[3]

一种晶圆片清洗机 [P].

陈跃华 ;

卜志超 ;

吴怡平 ;

陈时兴 .

中国专利 :CN114833117A ,2022-08-02

[4]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN214488000U ,2021-10-26

[5]

晶圆清洗机 [P].

左国军 ;

李雄朋 ;

庄海云 ;

饶相松 .

中国专利 :CN119092441A ,2024-12-06

[6]

一种晶圆片全自动清洗机 [P].

周鹏程 ;

戚孝峰 .

中国专利 :CN212018712U ,2020-11-27

[7]

一种晶圆清洗机 [P].

王会敏 ;

何京辉 ;

李立伟 ;

张立涛 ;

张稳 ;

尚玉晓 .

中国专利 :CN205718209U ,2016-11-23

[8]

晶圆片腐蚀清洗机构 [P].

李继忠 ;

李述周 ;

朱春 .

中国专利 :CN212517123U ,2021-02-09

[9]

晶圆清洗机 [P].

廖招军 ;

于飞 ;

张智广 ;

吴鹏飞 ;

陈浩 .

中国专利 :CN307370268S ,2022-05-27

[10]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN215656627U ,2022-01-28

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