一种晶圆片清洗机

被引：0

申请号：

CN202210438412.8

申请日：

2022-04-25

公开(公告)号：

CN114833117A

公开(公告)日：

2022-08-02

发明(设计)人：

陈跃华卜志超吴怡平陈时兴

申请人：

申请人地址：

314022 浙江省嘉兴市南湖区余新镇新盛路262号1幢3楼306-308室

IPC主分类号：

B08B302

IPC分类号：

B08B102 B08B1300

代理机构：

杭州凌通知识产权代理有限公司 33316

代理人：

曾长康

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-08-02	公开	公开
2022-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 3/02 申请日:20220425

共 50 条

[1]

一种晶圆片清洗机 [P].

薛小宾 .

中国专利 :CN212494080U ,2021-02-09

[2]

一种晶圆片清洗机 [P].

李成 ;

姚禄华 ;

邱立阳 ;

赵江风 ;

张义 .

中国专利 :CN223011322U ,2025-06-24

[3]

晶圆清洗机 [P].

张杭军 ;

张江水 ;

王凯 ;

靳韶波 ;

刘明潇 ;

赵文杰 .

中国专利 :CN120325616B ,2025-09-12

[4]

晶圆清洗机 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222790111U ,2025-04-25

[5]

晶圆清洗机 [P].

林楚龙 .

中国专利 :CN202146879U ,2012-02-22

[6]

晶圆清洗机 [P].

张杭军 ;

张江水 ;

王凯 ;

靳韶波 ;

刘明潇 ;

赵文杰 .

中国专利 :CN120325616A ,2025-07-18

[7]

一种晶圆片全自动清洗机 [P].

周鹏程 ;

戚孝峰 .

中国专利 :CN212018712U ,2020-11-27

[8]

半导体晶圆片超声清洗机 [P].

王贝 ;

郝俊 ;

章进文 ;

汪文学 ;

张峰 .

中国专利 :CN117324306A ,2024-01-02

[9]

半导体晶圆片超声清洗机 [P].

王贝 ;

郝俊 ;

章进文 ;

汪文学 ;

张峰 .

中国专利 :CN117324306B ,2024-03-19

[10]

晶圆清洗机 [P].

廖招军 ;

于飞 ;

张智广 ;

吴鹏飞 ;

陈浩 .

中国专利 :CN307370268S ,2022-05-27

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