一种晶圆片清洗机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202020418686.7

申请日：

2020-03-27

公开(公告)号：

CN212494080U

公开(公告)日：

2021-02-09

发明(设计)人：

薛小宾

申请人：

申请人地址：

518000 广东省深圳市宝安区西乡街道铁仔山公园路西成龙秋口工业区c栋一楼

IPC主分类号：

B08B102

IPC分类号：

B08B100 B08B302 B08B308 B08B314 B08B1300 F26B2100 H01L2167

代理机构：

深圳市宏德雨知识产权代理事务所(普通合伙) 44526

代理人：

李捷

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-02-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆片清洗机 [P].

李成 ;

姚禄华 ;

邱立阳 ;

赵江风 ;

张义 .

中国专利 :CN223011322U ,2025-06-24

[2]

一种晶圆片清洗机 [P].

陈跃华 ;

卜志超 ;

吴怡平 ;

陈时兴 .

中国专利 :CN114833117A ,2022-08-02

[3]

一种晶圆片全自动清洗机 [P].

周鹏程 ;

戚孝峰 .

中国专利 :CN212018712U ,2020-11-27

[4]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN215656627U ,2022-01-28

[5]

晶圆清洗机 [P].

唐君 ;

阙进林 ;

李永祥 ;

成林 .

中国专利 :CN214488000U ,2021-10-26

[6]

晶圆清洗机 [P].

马岩 ;

白雪峰 ;

荣宇 ;

郝鑫 .

中国专利 :CN203760441U ,2014-08-06

[7]

晶圆清洗机 [P].

孙雅华 ;

吕修壮 ;

李伟平 ;

张财宝 .

中国专利 :CN222581111U ,2025-03-07

[8]

晶圆清洗机 [P].

廖招军 ;

于飞 ;

张智广 ;

吴鹏飞 ;

陈浩 .

中国专利 :CN217191177U ,2022-08-16

[9]

一种晶圆清洗机的清洗篮 [P].

倪裕林 ;

徐新志 ;

尹旺 ;

王健忠 .

中国专利 :CN213519903U ,2021-06-22

[10]

一种具有回收结构的晶圆片清洗机 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

童建 .

中国专利 :CN113894082A ,2022-01-07

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