一种高效晶圆片的清洗方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011615745.0

申请日：

2020-12-30

公开(公告)号：

CN112820627A

公开(公告)日：

2021-05-18

发明(设计)人：

钱诚李刚周兴江

申请人：

申请人地址：

225300 江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317

代理人：

陈平

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-05-18	公开	公开
2021-06-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20201230

共 50 条

[1]

一种高效晶圆片的清洗装置 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

周兴江 .

中国专利 :CN112768375B ,2021-05-07

[2]

一种高效晶圆片的清洗装置 [P].

钱诚 ;

李刚 ;

周兴江 .

中国专利 :CN214012912U ,2021-08-20

[3]

一种晶圆片的高效清洗装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN217822712U ,2022-11-15

[4]

一种晶圆片清洗装置 [P].

王昌华 .

中国专利 :CN208690215U ,2019-04-02

[5]

一种晶圆片清洗装置 [P].

王昌华 .

中国专利 :CN109087874A ,2018-12-25

[6]

一种晶圆片清洗装置 [P].

钟伟 ;

罗昱 ;

刘颖 ;

张炳伟 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN222826360U ,2025-05-02

[7]

一种晶圆片高效分选的清洗装置 [P].

韦胜 ;

卢凯 ;

盛育 .

中国专利 :CN213887308U ,2021-08-06

[8]

一种晶圆片的清洗装置及方法 [P].

周维 ;

巩泉雨 ;

区灿林 ;

陈聪聪 .

中国专利 :CN115527884A ,2022-12-27

[9]

一种晶圆片清洗机 [P].

陈跃华 ;

卜志超 ;

吴怡平 ;

陈时兴 .

中国专利 :CN114833117A ,2022-08-02

[10]

一种晶圆清洗设备晶圆片高速装载方法 [P].

陈新来 ;

邓信甫 ;

刘大威 ;

陈丁堃 .

中国专利 :CN112736002B ,2021-04-30

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