一种晶圆片的清洗装置及方法

被引：0

申请号：

CN202111647968.X

申请日：

2021-12-29

公开(公告)号：

CN115527884A

公开(公告)日：

2022-12-27

发明(设计)人：

周维巩泉雨区灿林陈聪聪

申请人：

申请人地址：

518118 广东省深圳市坪山区比亚迪路3009号

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2102 H01L21683

代理机构：

深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325

代理人：

姚章国

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2023-01-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20211229
2022-12-27	公开	公开

共 50 条

[1]

一种晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

成晓畅 ;

蔡长益 ;

潘宏明 ;

左晓磊 ;

杨亮 .

中国专利 :CN119725075A ,2025-03-28

[2]

一种晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

杜博 ;

汪灵哲 ;

晋好然 ;

海森 .

中国专利 :CN118080406A ,2024-05-28

[3]

一种晶圆片清洗组件、清洗装置及清洗方法 [P].

胡仲波 ;

冯永 ;

李健儿 ;

蒋红全 ;

周建余 .

中国专利 :CN114769200A ,2022-07-22

[4]

一种晶圆片清洗组件、清洗装置及清洗方法 [P].

胡仲波 ;

冯永 ;

李健儿 ;

蒋红全 ;

周建余 .

中国专利 :CN114769200B ,2024-09-13

[5]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

汪子文 ;

张利 ;

李名浩 ;

魏星 ;

李炜 .

中国专利 :CN120432405A ,2025-08-05

[6]

晶圆片的清洗装置 [P].

吕耀安 .

中国专利 :CN106449478A ,2017-02-22

[7]

一种晶圆片清洗装置 [P].

王昌华 .

中国专利 :CN208690215U ,2019-04-02

[8]

一种晶圆片清洗装置 [P].

王昌华 .

中国专利 :CN109087874A ,2018-12-25

[9]

一种晶圆片清洗装置 [P].

吴琼 ;

李永峰 .

中国专利 :CN207338322U ,2018-05-08

[10]

一种晶圆片清洗装置 [P].

钟伟 ;

罗昱 ;

刘颖 ;

张炳伟 ;

吕守贵 ;

郭磊 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN222826360U ,2025-05-02

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