一种晶圆清洗方法及晶圆清洗装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411630368.6

申请日：

2024-11-14

公开(公告)号：

CN119725075A

公开(公告)日：

2025-03-28

发明(设计)人：

成晓畅蔡长益潘宏明左晓磊杨亮

申请人：

北京晶亦精微科技股份有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区经济技术开发区泰河三街1号2幢2层101

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

H01L21/67 B08B3/12 B08B3/08 B08B3/02 B08B1/12 B08B1/20

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

牛振川

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-15	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/02申请日:20241114
2025-03-28	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

刘佳奇 ;

姚零一 .

中国专利 :CN117476438A ,2024-01-30

[2]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

马玲 ;

韦亚一 ;

徐步青 ;

董立松 .

中国专利 :CN108649006B ,2018-10-12

[3]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

李广宁 ;

沈哲敏 .

中国专利 :CN104078352A ,2014-10-01

[4]

晶圆清洗方法及晶圆清洗装置 [P].

史进 .

中国专利 :CN109994372A ,2019-07-09

[5]

一种晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

杜博 ;

汪灵哲 ;

晋好然 ;

海森 .

中国专利 :CN118080406A ,2024-05-28

[6]

晶圆清洗装置及晶圆的清洗方法 [P].

朱梦磊 ;

刘欢 ;

张迪 ;

周志曼 .

中国专利 :CN120565462A ,2025-08-29

[7]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

汪子文 ;

张利 ;

李名浩 ;

魏星 ;

李炜 .

中国专利 :CN120432405A ,2025-08-05

[8]

晶圆清洗装置及晶圆清洗方法 [P].

李丹 ;

高英哲 ;

崔亚东 ;

张文福 .

中国专利 :CN108213016B ,2018-06-29

[9]

晶圆清洗方法、晶圆清洗装置以及晶圆 [P].

陈亚威 ;

简志宏 .

中国专利 :CN103128073A ,2013-06-05

[10]

晶圆清洗装置、晶圆处理设备及晶圆清洗方法 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN112233996A ,2021-01-15

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