基于多尺度特征融合的硅晶圆表面缺陷检测方法、设备、介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510969275.4

申请日：

2025-07-15

公开(公告)号：

CN120471918B

公开(公告)日：

2025-10-14

发明(设计)人：

胡松钰贺亦可胡佳滢张滈芮傅建中

申请人：

浙江大学

申请人地址：

310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号

IPC主分类号：

G06T7/00

IPC分类号：

G01N21/88 G06V10/44 G06V10/80 G06V10/82 G06V10/52 G06V10/774 G06V10/764 G06N3/0464 G06N3/08

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司 33200

代理人：

邱启旺

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20250715
2025-10-14	授权	授权
2025-08-12	公开	公开

共 50 条

[1]

基于多尺度特征融合的硅晶圆表面缺陷检测方法、设备、介质 [P].

胡松钰 ;

贺亦可 ;

胡佳滢 ;

张滈芮 ;

傅建中 .

中国专利 :CN120471918A ,2025-08-12

[2]

基于多尺度特征学习的晶圆表面缺陷检测方法 [P].

胡立磊 ;

马灿 .

中国专利 :CN121120530A ,2025-12-12

[3]

基于多尺度特征融合的工业表面缺陷检测方法 [P].

谷刘涛 ;

张雨杰 ;

范江涛 .

中国专利 :CN120948475A ,2025-11-14

[4]

基于多尺度特征融合的带钢表面缺陷检测方法及相关装置 [P].

刘偌冉 ;

郭师虹 ;

谢雨航 .

中国专利 :CN118735878A ,2024-10-01

[5]

一种基于多尺度特征融合的集装箱表面缺陷检测方法 [P].

曹峰 ;

何生茂 ;

闫朋雷 ;

周崇山 .

中国专利 :CN120833340A ,2025-10-24

[6]

一种基于多尺度特征融合的集装箱表面缺陷检测方法 [P].

曹峰 ;

何生茂 ;

闫朋雷 ;

周崇山 .

中国专利 :CN120833340B ,2025-11-21

[7]

基于剪枝多尺度特征融合网络的光伏板表面缺陷检测方法 [P].

费习宏 ;

贺子健 ;

李俊熠 ;

李思雨 ;

张逸帆 ;

沈浩 .

中国专利 :CN120278992A ,2025-07-08

[8]

基于自适应多尺度特征融合的表面缺陷显著目标检测方法 [P].

程莉 ;

文国陈 ;

钟舒心 ;

孙坤杰 ;

何亚文 ;

胡岩乾 ;

李璇 ;

元海文 .

中国专利 :CN119478354A ,2025-02-18

[9]

一种基于多尺度特征融合的工业表面缺陷检测方法 [P].

赖剑煌 ;

郭彤彤 ;

李中华 .

中国专利 :CN112561910A ,2021-03-26

[10]

一种基于多尺度特征的免锚框表面缺陷检测方法 [P].

胡海根 ;

宋泉鉴 ;

董林伟 ;

许慧 ;

雨琪 ;

黄旭航 .

中国专利 :CN115861281B ,2025-07-15

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