基于多尺度特征融合的硅晶圆表面缺陷检测方法、设备、介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510969275.4

申请日：

2025-07-15

公开(公告)号：

CN120471918B

公开(公告)日：

2025-10-14

发明(设计)人：

胡松钰贺亦可胡佳滢张滈芮傅建中

申请人：

浙江大学

申请人地址：

310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号

IPC主分类号：

G06T7/00

IPC分类号：

G01N21/88 G06V10/44 G06V10/80 G06V10/82 G06V10/52 G06V10/774 G06V10/764 G06N3/0464 G06N3/08

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司 33200

代理人：

邱启旺

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-29	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20250715
2025-10-14	授权	授权
2025-08-12	公开	公开

共 50 条

[21]

一种基于轻量化多尺度特征融合的SOP缺陷检测方法 [P].

张剑 ;

方鑫 ;

幸意凯 ;

周永兵 ;

陈浩杰 .

中国专利 :CN120953184A ,2025-11-14

[22]

一种融合多尺度动态感知与特征解耦的晶圆表面缺陷检测方法 [P].

邹宁睦 ;

张昊天 ;

王柏涵 ;

张雅丽 ;

陈思霖 ;

张天瑞 .

中国专利 :CN120707507A ,2025-09-26

[23]

基于多尺度特征融合的Faster-RCNN算法检测磁芯表面缺陷的方法 [P].

王宪保 ;

杨敬 ;

周红 .

中国专利 :CN111754502A ,2020-10-09

[24]

一种基于多尺度特征的木材表面缺陷检测方法 [P].

张立新 ;

卜启闯 .

中国专利 :CN120612282A ,2025-09-09

[25]

晶圆表面缺陷检测方法和设备 [P].

石强 .

中国专利 :CN113344886A ,2021-09-03

[26]

一种基于多尺度信息融合的表面缺陷检测方法 [P].

张辉 ;

赵晨阳 ;

李晨 ;

吴刘宸 ;

陈瑞博 ;

毛建旭 ;

曹意宏 .

中国专利 :CN113610822B ,2021-11-05

[27]

一种基于YOLOv8多尺度特征融合的钢材表面缺陷检测方法 [P].

黄俊闻 ;

姜明新 ;

杜强 ;

王杰 ;

项靖 ;

洪远 .

中国专利 :CN118229655A ,2024-06-21

[28]

基于全局特征增强和多尺度融合的磁瓦表面缺陷检测方法 [P].

李冬雪 ;

阮秀凯 ;

张瑶 ;

詹志翔 ;

曹雅玲 ;

雷宇翔 .

中国专利 :CN117764977A ,2024-03-26

[29]

基于特征融合的表面缺陷检测方法及设备 [P].

祝树杰 ;

李杰明 ;

杨洋 ;

翟爱亭 ;

黄淦 .

中国专利 :CN114550021A ,2022-05-27

[30]

基于多尺度自适应引导的表面缺陷检测方法、设备及介质 [P].

张聪炫 ;

李旭辉 ;

葛利跃 ;

王梓歌 ;

江乐旗 ;

陈震 ;

吴成中 ;

王耀南 .

中国专利 :CN120672758B ,2025-11-21

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