套刻误差的量测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510854891.5

申请日：

2025-06-24

公开(公告)号：

CN120406058B

公开(公告)日：

2025-10-14

发明(设计)人：

王公元阚俊贾斐石德胜

申请人：

长鑫新桥存储技术有限公司

申请人地址：

230601 安徽省合肥市经济技术开发区新淮大道2788号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F9/00

代理机构：

北京派特恩知识产权代理有限公司 11270

代理人：

王娜丽;蒋雅洁

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20250624
2025-10-14	授权	授权
2025-08-01	公开	公开

共 50 条

[1]

套刻误差的量测方法 [P].

王公元 ;

阚俊 ;

贾斐 ;

石德胜 .

中国专利 :CN120406058A ,2025-08-01

[2]

套刻误差量测装置及套刻误差量测方法 [P].

谷孝东 ;

曹葵康 .

中国专利 :CN118824880B ,2025-02-25

[3]

套刻误差量测装置及套刻误差量测方法 [P].

谷孝东 ;

曹葵康 .

中国专利 :CN118824880A ,2024-10-22

[4]

一种套刻误差的量测装备和套刻误差量测方法 [P].

曹葵康 ;

谷孝东 ;

施融融 ;

郑冰鲜 ;

蔡亚楠 .

中国专利 :CN118584763A ,2024-09-03

[5]

套刻误差量测标记结构及其制程方法和套刻误差量测方法 [P].

曾暐舜 ;

陈庆煌 ;

刘志成 ;

王见明 .

中国专利 :CN112230514B ,2021-01-15

[6]

套刻误差量测方法和装置 [P].

张基智 ;

吴长明 ;

冯大贵 ;

姚振海 ;

金乐群 ;

王绪根 ;

朱联合 ;

杨伟 .

中国专利 :CN114428445A ,2022-05-03

[7]

一种套刻误差量测装置和量测方法 [P].

曹葵康 ;

谷孝东 .

中国专利 :CN118824881A ,2024-10-22

[8]

基于霍夫变换的套刻误差量测装置和量测方法 [P].

谷孝东 ;

曹葵康 .

中国专利 :CN118824882A ,2024-10-22

[9]

半导体结构及其形成方法、量测套刻误差的方法 [P].

杨佳斐 ;

李胜 ;

吴建明 ;

张勇 .

中国专利 :CN119620535A ,2025-03-14

[10]

套刻误差补偿方法 [P].

刘巍巍 ;

张阳 .

中国专利 :CN118859632B ,2025-09-26

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