套刻误差量测装置及套刻误差量测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410843907.8

申请日：

2024-06-27

公开(公告)号：

CN118824880B

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

谷孝东曹葵康

申请人：

苏州天准科技股份有限公司

申请人地址：

215153 江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号

IPC主分类号：

H01L21/66

IPC分类号：

H01L21/68 H01L21/67 G01N21/95 G01N21/01

代理机构：

北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙) 11940

代理人：

王玉玲

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-11-08	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/66申请日:20240627
2025-02-25	授权	授权
2024-10-22	公开	公开

共 50 条

[1]

套刻误差量测装置及套刻误差量测方法 [P].

谷孝东 ;

曹葵康 .

中国专利 :CN118824880A ,2024-10-22

[2]

套刻标记、套刻误差量测方法及量测装置 [P].

朱烨 ;

李晨梦 .

中国专利 :CN120891710A ,2025-11-04

[3]

一种套刻误差的量测装备和套刻误差量测方法 [P].

曹葵康 ;

谷孝东 ;

施融融 ;

郑冰鲜 ;

蔡亚楠 .

中国专利 :CN118584763A ,2024-09-03

[4]

套刻误差量测方法和装置 [P].

张基智 ;

吴长明 ;

冯大贵 ;

姚振海 ;

金乐群 ;

王绪根 ;

朱联合 ;

杨伟 .

中国专利 :CN114428445A ,2022-05-03

[5]

套刻误差的量测方法 [P].

王公元 ;

阚俊 ;

贾斐 ;

石德胜 .

中国专利 :CN120406058B ,2025-10-14

[6]

套刻误差的量测方法 [P].

王公元 ;

阚俊 ;

贾斐 ;

石德胜 .

中国专利 :CN120406058A ,2025-08-01

[7]

套刻误差量测标记结构及其制程方法和套刻误差量测方法 [P].

曾暐舜 ;

陈庆煌 ;

刘志成 ;

王见明 .

中国专利 :CN112230514B ,2021-01-15

[8]

一种套刻误差量测装置和量测方法 [P].

曹葵康 ;

谷孝东 .

中国专利 :CN118824881A ,2024-10-22

[9]

基于霍夫变换的套刻误差量测装置和量测方法 [P].

谷孝东 ;

曹葵康 .

中国专利 :CN118824882A ,2024-10-22

[10]

半导体结构及其形成方法、量测套刻误差的方法 [P].

杨佳斐 ;

李胜 ;

吴建明 ;

张勇 .

中国专利 :CN119620535A ,2025-03-14

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