套刻标记、套刻误差量测方法及量测装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511044391.1

申请日：

2025-07-25

公开(公告)号：

CN120891710A

公开(公告)日：

2025-11-04

发明(设计)人：

朱烨李晨梦

申请人：

深圳市新凯来工业机器有限公司

申请人地址：

518100 广东省深圳市龙岗区平湖街道山厦社区中环大道中科谷产业园6栋1301

IPC主分类号：

G03F9/00

IPC分类号：

H01L23/544 H01L21/67

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

易浩球

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-04	公开	公开
2025-11-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 9/00申请日:20250725

共 50 条

[1]

套刻误差量测装置及套刻误差量测方法 [P].

谷孝东 ;

曹葵康 .

中国专利 :CN118824880B ,2025-02-25

[2]

套刻误差量测装置及套刻误差量测方法 [P].

谷孝东 ;

曹葵康 .

中国专利 :CN118824880A ,2024-10-22

[3]

套刻误差量测方法和装置 [P].

张基智 ;

吴长明 ;

冯大贵 ;

姚振海 ;

金乐群 ;

王绪根 ;

朱联合 ;

杨伟 .

中国专利 :CN114428445A ,2022-05-03

[4]

一种套刻误差量测装置和量测方法 [P].

曹葵康 ;

谷孝东 .

中国专利 :CN118824881A ,2024-10-22

[5]

基于霍夫变换的套刻误差量测装置和量测方法 [P].

谷孝东 ;

曹葵康 .

中国专利 :CN118824882A ,2024-10-22

[6]

误差量测装置 [P].

刘建宏 .

中国专利 :CN303976972S ,2016-12-21

[7]

量测装置及量测方法 [P].

赖允晋 ;

庄翌晨 ;

杨戴隆 ;

洪育民 .

中国专利 :CN104458209A ,2015-03-25

[8]

量测装置及量测方法 [P].

张民山 ;

徐兵 ;

李煜芝 ;

于亮 ;

王保亮 .

中国专利 :CN118242975A ,2024-06-25

[9]

量测装置及量测方法 [P].

吴景扬 ;

周宗震 ;

简昆峰 ;

高维笛 ;

王俊杰 .

中国专利 :CN117907284A ,2024-04-19

[10]

量测装置及量测方法 [P].

詹森雄 ;

江家谊 .

中国专利 :CN112986615A ,2021-06-18

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