晶圆拾取装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN202422819988.6
申请日
2024-11-19
公开(公告)号
CN223401595U
公开(公告)日
2025-09-30
发明(设计)人
纪开勋 张恩鸣 于忠利 余坚 徐阳
申请人
北京燕东微电子科技有限公司
申请人地址
100176 北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路51号院1号楼5层516
IPC主分类号
H01L21/687
IPC分类号
代理机构
北京成创同维知识产权代理有限公司 11449
代理人
高柏通
法律状态
授权
国省代码
安徽省 宣城市
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共 50 条
[1]
晶圆拾取装置 [P]. 
曲坤 ;
王翌博 .
中国专利 :CN223023261U ,2025-06-24
[2]
晶圆拾取组件 [P]. 
廉哲 ;
王勇 ;
谢智寅 ;
唐仁伟 .
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[3]
一种晶圆加工拾取装置 [P]. 
刘崇海 ;
葛时建 ;
蒙国荪 ;
夏郁权 .
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[4]
简易晶圆视觉自动分类拾取装置 [P]. 
粟子谷 ;
贾春英 .
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[5]
一种新型晶圆拾取装置 [P]. 
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[6]
晶圆级倒装机及其拾取装置 [P]. 
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王波 ;
刘青山 ;
刘凤玲 ;
陈桪 .
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[7]
拾取晶圆盒的桁架装置 [P]. 
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[8]
晶圆拾取机构的压持装置 [P]. 
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[9]
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余肇勇 .
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[10]
拾取装置 [P]. 
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吴桐 ;
兰立广 .
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