承载装置及半导体加工设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511127777.9

申请日：

2024-05-21

公开(公告)号：

CN120824246A

公开(公告)日：

2025-10-21

发明(设计)人：

郭红飞史全宇靳阳项宏波张楠潘玉蕊

申请人：

北京北方华创微电子装备有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

代理机构：

北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112

代理人：

彭瑞欣;王婷

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-07	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/683申请日:20240521
2025-10-21	公开	公开

共 50 条

[1]

承载装置及半导体加工设备 [P].

张宝辉 ;

王伟 ;

张伟涛 ;

栾大为 .

中国专利 :CN106653663A ,2017-05-10

[2]

承载装置及半导体加工设备 [P].

郭红飞 ;

史全宇 ;

靳阳 ;

项宏波 ;

张楠 ;

潘玉蕊 .

中国专利 :CN118610145B ,2025-09-16

[3]

承载装置及半导体加工设备 [P].

张宝辉 ;

张伟涛 ;

王伟 .

中国专利 :CN106653673A ,2017-05-10

[4]

承载装置及半导体加工设备 [P].

吴鑫 ;

王春 ;

张宝辉 .

中国专利 :CN106783722B ,2017-05-31

[5]

承载装置及半导体加工设备 [P].

郭红飞 ;

史全宇 ;

靳阳 ;

项宏波 ;

张楠 ;

潘玉蕊 .

中国专利 :CN118610145A ,2024-09-06

[6]

承载装置及半导体加工设备 [P].

郭红飞 ;

史全宇 ;

靳阳 ;

项宏波 ;

张楠 ;

潘玉蕊 .

中国专利 :CN120767241A ,2025-10-10

[7]

承载装置及半导体加工设备 [P].

侯珏 .

中国专利 :CN105514016A ,2016-04-20

[8]

盖板、承载装置及半导体加工设备 [P].

朱印伍 ;

吴鑫 .

中国专利 :CN105990211A ,2016-10-05

[9]

卡环、承载装置及半导体加工设备 [P].

蒋秉轩 ;

李新颖 .

中国专利 :CN204720433U ,2015-10-21

[10]

承载装置及半导体加工设备 [P].

张超 .

中国专利 :CN111599734B ,2024-04-16

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