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一种高质量的大尺寸碳化硅晶体生长装置和生长方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511467898.8
申请日：
2025-10-15
公开(公告)号：
CN120925079A
公开(公告)日：
2025-11-11
发明(设计)人：
毛栋梁 魏汝省 李天 乔亮 罗东 高宇鹏
申请人：
山西烁科晶体有限公司
申请人地址：
030032 山西省太原市综改示范区太原潇河园区汾潇街9号
IPC主分类号：
C30B29/36
IPC分类号：
C30B23/00
代理机构：
北京金杉知识产权代理有限公司 16291
代理人：
李享
法律状态：
公开
国省代码：
山西省 太原市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-11-11 公开 公开
2025-11-28 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C30B 29/36申请日:20251015
共 50 条
[1]
碳化硅晶体生长装置及大尺寸碳化硅晶体的生长方法 [P]. 
燕靖 ;
陈俊宏 ;
李兆颖 ;
周来平 .
中国专利 :CN115142132B ,2024-03-19
[2]
碳化硅晶体生长装置及大尺寸碳化硅晶体的生长方法 [P]. 
燕靖 ;
陈俊宏 ;
李兆颖 ;
周来平 .
中国专利 :CN115142132A ,2022-10-04
[3]
碳化硅晶体生长装置和晶体生长方法 [P]. 
王睿仑 ;
张洁 ;
廖弘基 ;
杨树 .
中国专利 :CN113622016B ,2021-11-09
[4]
一种碳化硅晶体生长装置及碳化硅晶体生长方法 [P]. 
郭超 ;
母凤文 .
中国专利 :CN114481293A ,2022-05-13
[5]
大尺寸碳化硅晶体生长装置 [P]. 
戚祖强 ;
肖锦先 ;
李海军 ;
卢万佳 ;
黄金平 ;
刘勇 ;
汪志超 .
中国专利 :CN209522952U ,2019-10-22
[6]
碳化硅晶体生长装置和生长方法 [P]. 
贾松茹 ;
王旻峰 ;
高玉强 .
中国专利 :CN118048689A ,2024-05-17
[7]
碳化硅晶体生长方法及其生长装置 [P]. 
杨弥珺 ;
浩瀚 ;
赵新田 ;
章宣 ;
陈晶莹 ;
廖青春 .
中国专利 :CN117107345B ,2024-06-18
[8]
大尺寸碳化硅晶体生长装置 [P]. 
李远田 .
中国专利 :CN118422321A ,2024-08-02
[9]
碳化硅晶体生长装置及生长方法 [P]. 
胡建荣 ;
欧阳鹏根 ;
张志伟 ;
汪传勇 ;
乔发 ;
黄俊 .
中国专利 :CN120797184A ,2025-10-17
[10]
一种碳化硅晶体生长炉和碳化硅晶体生长方法 [P]. 
范涛礼 ;
陈建明 ;
蔡金荣 ;
张江涛 ;
赵文超 .
中国专利 :CN118272918B ,2024-10-11
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