一种用于蓝宝石硅片的抛光工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510988960.1

申请日：

2025-07-17

公开(公告)号：

CN120862531A

公开(公告)日：

2025-10-31

发明(设计)人：

宋军颜刚刘宇杰

申请人：

美科瑞（江苏）先进材料科技有限公司

申请人地址：

214000 江苏省无锡市锡山区安泰三路1096号安泰（十期）工业园4号北半侧

IPC主分类号：

B24B29/02

IPC分类号：

H01L21/02 B24B1/00 B24B57/02 B24B49/02 B24B55/06 B24B41/06 B24B55/12 B24B55/00

代理机构：

北京保识知识产权代理事务所(普通合伙) 11874

代理人：

张立荣

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B24B 29/02申请日:20250717
2025-10-31	公开	公开

共 50 条

[1]

一种用于蓝宝石镜面抛光用磨头 [P].

周群飞 ;

饶桥兵 ;

余兴明 .

中国专利 :CN104827386B ,2015-08-12

[2]

一种蓝宝石半导体衬底的抛光工艺 [P].

陈斌 .

中国专利 :CN117182763B ,2024-08-06

[3]

蓝宝石窗口片及其抛光工艺 [P].

刘冉 ;

苏小磊 ;

王鑫 ;

陈红飞 ;

王宇湖 .

中国专利 :CN110977629B ,2020-04-10

[4]

一种基于蓝宝石硅片抛光液制备工艺 [P].

宋军 ;

颜刚 ;

刘宇杰 .

中国专利 :CN119407681A ,2025-02-11

[5]

一种蓝宝石面板的双面抛光工艺 [P].

周群飞 ;

饶桥兵 ;

傅亮 .

中国专利 :CN104015123A ,2014-09-03

[6]

一种用于蓝宝石镜面抛光用磨头 [P].

周群飞 ;

饶桥兵 ;

余兴明 .

中国专利 :CN104816259A ,2015-08-05

[7]

一种用于蓝宝石的抛光设备 [P].

陈嘉伟 ;

陈振宇 ;

林太顺 .

中国专利 :CN215470052U ,2022-01-11

[8]

一种蓝宝石衬底抛光工艺 [P].

柳祝平 ;

黄小卫 ;

王联 .

中国专利 :CN102513906B ,2012-06-27

[9]

一种蓝宝石抛光工艺 [P].

滕斌 ;

段斌斌 ;

程佳宝 ;

朱宏杰 ;

孙亚雄 ;

倪浩然 .

中国专利 :CN106271900A ,2017-01-04

[10]

一种用于蓝宝石研磨抛光工艺的抛光液及其制备方法 [P].

陆昌程 ;

宋述远 ;

蔡金荣 .

中国专利 :CN110591562A ,2019-12-20

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