一种磁力超声辅助多工位剪切增稠抛光装置、抛光液及抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202310367017.X

申请日：

2023-04-07

公开(公告)号：

CN116442107B

公开(公告)日：

2025-11-18

发明(设计)人：

张振宇薛自航李嘉新余家欣孟凡宁周红秀石春景冯俊元

申请人：

大连理工大学

申请人地址：

116024 辽宁省大连市高新园区凌工路2号

IPC主分类号：

B24B31/00

IPC分类号：

B24B31/06 B24B31/12 B24B41/06 B24B41/02 B24B1/04 C09G1/02

代理机构：

大连东方专利代理有限责任公司 21212

代理人：

修睿;李洪福

法律状态：

授权

国省代码：

河北省石家庄市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-18	授权	授权

共 50 条

[1]

一种剪切增稠抛光液 [P].

郭江 ;

张鹏飞 ;

贺增旭 .

中国专利 :CN111607330A ,2020-09-01

[2]

石英零件细小内孔剪切增稠抛光液及抛光装置和抛光方法 [P].

张振宇 ;

张天宇 ;

冯俊元 ;

周淳琛 ;

孟凡宁 .

中国专利 :CN115741446B ,2025-01-14

[3]

多相剪切增稠抛光液及其制备方法 [P].

胡自化 ;

张舒哲 ;

李鑫浩 ;

封龙龙 ;

秦长江 ;

陈小告 .

中国专利 :CN115433523A ,2022-12-06

[4]

适用WC-Co合金的化学增强剪切增稠抛光液及抛光方法 [P].

吕冰海 ;

柯明峰 ;

赵梁 ;

王佳焕 ;

陈宇扬 ;

袁亨美 .

中国专利 :CN121065703A ,2025-12-05

[5]

剪切增稠抛光装置 [P].

胡自化 ;

邹国良 ;

邹涵 ;

封龙龙 ;

秦长江 ;

陈小告 .

中国专利 :CN115533731A ,2022-12-30

[6]

一种电解抛光液、抛光装置及抛光方法 [P].

胡晓文 ;

刘忙仔 ;

杨俊峰 ;

赵洪军 ;

刘美红 .

中国专利 :CN109778298A ,2019-05-21

[7]

抛光液及使用该抛光液的抛光方法 [P].

上村哲也 .

中国专利 :CN101397482A ,2009-04-01

[8]

抛光液及使用该抛光液的抛光方法 [P].

上村哲也 .

中国专利 :CN101333417A ,2008-12-31

[9]

一种抛光设备、抛光方法及抛光液 [P].

汪承杰 .

中国专利 :CN110370161A ,2019-10-25

[10]

适用于晶圆加工的剪切增稠抛光装置及抛光方法 [P].

韦民 ;

杭伟 ;

邓乾发 ;

沈蒙蒙 ;

梁一微 ;

吴凌伟 .

中国专利 :CN120862549A ,2025-10-31

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