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一种镀膜设备及线性渐变滤光片膜厚均匀性修正方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511358766.1
申请日：
2025-09-23
公开(公告)号：
CN120844027A
公开(公告)日：
2025-10-28
发明(设计)人：
刘文成 李绵 李浩川 刘政 张四宝
申请人：
中国科学院西安光学精密机械研究所
申请人地址：
710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号
IPC主分类号：
C23C14/32
IPC分类号：
C23C14/08 C23C14/10 C23C14/54 G06F17/10
代理机构：
西安智邦专利商标代理有限公司 61211
代理人：
王少文
法律状态：
公开
国省代码：
北京市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-10-28 公开 公开
2025-11-14 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/32申请日:20250923
共 50 条
[1]
线性渐变滤光片的多光谱镀膜方法及线性渐变滤光片 [P]. 
邓以实 ;
张崇磊 ;
郑帆 ;
梁正平 ;
刘湘宇 .
中国专利 :CN120945320A ,2025-11-14
[2]
一种线性渐变滤光片修正挡板的设计方法 [P]. 
周顺 ;
庞梦林 ;
郭峰 ;
张雪 ;
刘卫国 .
中国专利 :CN114676520A ,2022-06-28
[3]
一种线性渐变滤光片修正挡板的设计方法 [P]. 
周顺 ;
庞梦林 ;
郭峰 ;
张雪 ;
刘卫国 .
中国专利 :CN114676520B ,2024-11-19
[4]
一种可实现多种线性渐变滤光片镀膜的镀膜装置 [P]. 
沈清 ;
李旭光 .
中国专利 :CN111378950A ,2020-07-07
[5]
一种可实现多种线性渐变滤光片镀膜的镀膜装置 [P]. 
沈清 ;
李旭光 .
中国专利 :CN212051637U ,2020-12-01
[6]
一种可实现线性渐变滤光片的镀膜方法及角度调节装置 [P]. 
莫海亮 .
中国专利 :CN116103618B ,2025-12-09
[7]
一种矩形线性渐变滤光片的生产装置 [P]. 
吴小春 .
中国专利 :CN205787192U ,2016-12-07
[8]
电子束蒸发镀膜膜厚均匀性的修正方法 [P]. 
毕军 ;
易葵 ;
黄建兵 ;
王素梅 ;
傅小勇 ;
沈健 ;
朱美萍 ;
范正修 .
中国专利 :CN100363533C ,2006-01-11
[9]
一种基于线性渐变滤光片的短波探测模块 [P]. 
郭玉西 ;
刘丹 ;
徐建强 ;
刘莉莉 .
中国专利 :CN215064887U ,2021-12-07
[10]
一种线性渐变滤光片的光谱特征参数测试方法 [P]. 
袁艳 ;
王世丰 ;
苏丽娟 ;
安达 .
中国专利 :CN107462525A ,2017-12-12
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