一种降低氮化铝加热盘加热丝腐蚀的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411016461.8

申请日：

2024-07-27

公开(公告)号：

CN119121242B

公开(公告)日：

2025-11-14

发明(设计)人：

何冬霜石锗元李君戴毅陈庶舒肖伟

申请人：

君原电子科技（海宁）有限公司

申请人地址：

314400 浙江省嘉兴市海宁市海宁经济开发区谷水路306号天通泛半导体产业园2幢

IPC主分类号：

H01L21/683

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-12-31	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 15/00申请日:20240727
2024-12-13	公开	公开
2025-11-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种降低氮化铝加热盘加热丝腐蚀的方法 [P].

何冬霜 ;

石锗元 ;

李君 ;

戴毅 ;

陈庶舒 ;

肖伟 .

中国专利 :CN119121242A ,2024-12-13

[2]

加热盘（氮化铝陶瓷） [P].

张文华 ;

黎力菠 .

中国专利 :CN309120830S ,2025-02-18

[3]

一种氮化铝陶瓷加热盘 [P].

许旺杰 ;

李伟煊 .

中国专利 :CN216673318U ,2022-06-03

[4]

一种氮化铝陶瓷加热盘的焊接方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

王佳乾 ;

杨慧珍 ;

廖培君 .

中国专利 :CN119462191A ,2025-02-18

[5]

一种氮化铝陶瓷加热盘及其制备方法 [P].

向其军 ;

吴俊雄 ;

施纯锡 ;

杨大胜 ;

冯家伟 .

中国专利 :CN119707499A ,2025-03-28

[6]

一种氮化铝陶瓷加热盘及其制备方法与应用 [P].

姚力军 ;

杨慧珍 ;

廖培君 ;

周友平 .

中国专利 :CN119390454A ,2025-02-07

[7]

氮化铝陶瓷加热片的制备方法及氮化铝陶瓷加热片 [P].

杨大胜 ;

施纯锡 .

中国专利 :CN115448728A ,2022-12-09

[8]

一种半导体设备用氮化铝陶瓷加热盘的焊接方法 [P].

黄文思 ;

王少雄 ;

吴俊雄 ;

施俊男 ;

冯家伟 .

中国专利 :CN121107873A ,2025-12-12

[9]

一种氮化铝陶瓷加热器 [P].

党桂彬 .

中国专利 :CN210579289U ,2020-05-19

[10]

一种PECVD加热盘加热丝的矫正方法 [P].

姚力军 ;

潘杰 ;

杨慧珍 ;

廖培君 ;

周友平 .

中国专利 :CN118218509A ,2024-06-21

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