一种半导体元件几何参数高精度测量设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511168271.2

申请日：

2025-08-20

公开(公告)号：

CN120869009A

公开(公告)日：

2025-10-31

发明(设计)人：

孙佳卓王海川梁邦远祁军霞董志国

申请人：

青岛前哨精密仪器有限公司

申请人地址：

266114 山东省青岛市高新区锦暄路61号

IPC主分类号：

G01B21/00

IPC分类号：

代理机构：

青岛匠海舟盈专利代理事务所(普通合伙) 37401

代理人：

向迎巧

法律状态：

公开

国省代码：

江苏省常州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-31	公开	公开
2025-11-18	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01B 21/00申请日:20250820

共 50 条

[1]

一种高精度测量设备 [P].

洪金龙 ;

仇增华 .

中国专利 :CN211717496U ,2020-10-20

[2]

一种高精度测量设备 [P].

洪金龙 ;

仇增华 .

中国专利 :CN111366186A ,2020-07-03

[3]

一种轨道几何状态高精度测量装置 [P].

于佃清 ;

张瑜 ;

丁文 ;

刘忆萱 .

中国专利 :CN216898818U ,2022-07-05

[4]

轨道几何参数高精度检测方法和轨道几何参数高精度检测车 [P].

谢勇君 ;

张紫萱 ;

郭洪飞 ;

唐文斌 ;

严冬松 ;

夏建健 ;

杨洁琼 ;

陈胜楣 ;

洪超然 ;

詹鸿源 ;

郭育城 ;

武建华 .

中国专利 :CN109455197B ,2024-09-06

[5]

轨道几何参数高精度检测方法和轨道几何参数高精度检测车 [P].

谢勇君 ;

张紫萱 ;

郭洪飞 ;

唐文斌 ;

严冬松 ;

夏建健 ;

杨洁琼 ;

陈胜楣 ;

洪超然 ;

詹鸿源 ;

郭育城 ;

武建华 .

中国专利 :CN109455197A ,2019-03-12

[6]

轨道几何参数高精度检测车 [P].

谢勇君 ;

张紫萱 ;

郭洪飞 ;

唐文斌 ;

严冬松 ;

夏建健 ;

杨洁琼 ;

陈胜楣 ;

洪超然 ;

詹鸿源 ;

郭育城 ;

武建华 .

中国专利 :CN209426782U ,2019-09-24

[7]

一种轨道几何参数精准测量设备 [P].

姚兴宇 ;

于佃清 ;

丁文 ;

刘忆萱 .

中国专利 :CN215398692U ,2022-01-04

[8]

一种高精度集成轨道几何参数测量方法 [P].

刘玉鹏 ;

周涛 ;

韦晓莹 ;

王喜春 ;

张孟辰 .

中国专利 :CN112227121A ,2021-01-15

[9]

一种半导体膜高精度冲切设备 [P].

汪良恩 ;

王锡康 ;

姜兰虎 ;

乔建明 .

中国专利 :CN221066572U ,2024-06-04

[10]

一种轨道几何状态高精度测量装置 [P].

李毛毛 ;

周云 ;

邹文静 ;

田大川 ;

张鑫 ;

郝松傲 .

中国专利 :CN108755306A ,2018-11-06

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