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便于衬底固定的MOCVD设备

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202410268951.0
申请日：
2024-03-10
公开(公告)号：
CN118086861B
公开(公告)日：
2025-11-04
发明(设计)人：
徐国强 张丽娜 闻洁
申请人：
杭州龙圣外延科技有限公司
申请人地址：
311115 浙江省杭州市余杭区瓶窑镇观山路11号1幢一楼2124室
IPC主分类号：
C23C16/18
IPC分类号：
C23C16/455 C23C16/458
代理机构：
北京中先生知识产权代理事务所(普通合伙) 16063
代理人：
王慧忠
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-11-04 授权 授权
2024-06-14 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/18申请日:20240310
2024-05-28 公开 公开
共 50 条
[1]
便于衬底固定的MOCVD设备 [P]. 
徐国强 ;
张丽娜 ;
闻洁 .
中国专利 :CN118086861A ,2024-05-28
[2]
MOCVD设备 [P]. 
徐国强 ;
张丽娜 ;
闻洁 .
中国专利 :CN117926211A ,2024-04-26
[3]
MOCVD设备 [P]. 
徐国强 ;
张丽娜 ;
闻洁 .
中国专利 :CN117926211B ,2025-11-04
[4]
改进密封的MOCVD设备 [P]. 
徐国强 ;
张丽娜 ;
闻洁 .
中国专利 :CN117926207B ,2025-11-04
[5]
改进密封的MOCVD设备 [P]. 
徐国强 ;
张丽娜 ;
闻洁 .
中国专利 :CN117926207A ,2024-04-26
[6]
反应气体预热的MOCVD设备 [P]. 
徐国强 ;
张丽娜 ;
闻洁 .
中国专利 :CN117926210A ,2024-04-26
[7]
反应气体预热的MOCVD设备 [P]. 
徐国强 ;
张丽娜 ;
闻洁 .
中国专利 :CN117926210B ,2025-11-04
[8]
回转式MOCVD设备 [P]. 
徐国强 ;
张丽娜 ;
闻洁 .
中国专利 :CN117926209A ,2024-04-26
[9]
回转式MOCVD设备 [P]. 
徐国强 ;
张丽娜 ;
闻洁 .
中国专利 :CN117926209B ,2025-10-31
[10]
分区加热的MOCVD设备 [P]. 
徐国强 ;
张丽娜 ;
闻洁 .
中国专利 :CN117926212B ,2025-10-31
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