一种高透过率金刚石微结构制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202311194736.2

申请日：

2023-09-15

公开(公告)号：

CN117165915B

公开(公告)日：

2025-11-14

发明(设计)人：

郑森杰郭可升杨振怀刘宏胡强

申请人：

季华实验室

申请人地址：

528200 广东省佛山市南海区桂城街道环岛南路28号

IPC主分类号：

C23C16/27

IPC分类号：

C23C16/511 C23C16/02

代理机构：

广东海融科创知识产权代理事务所(普通合伙) 44377

代理人：

罗尹清

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种高光学透过率CVD多晶金刚石厚膜的制备方法 [P].

曹博伦 ;

徐帅 ;

吴晓磊 ;

赵延军 ;

周文涛 ;

刘晖 ;

闫建明 ;

康世豪 ;

闫宁 .

中国专利 :CN117535647A ,2024-02-09

[2]

工件微结构加工方法及金刚石微结构工件 [P].

陈俊云 ;

张圣康 ;

靳田野 .

中国专利 :CN112296524B ,2021-02-02

[3]

一种提高金刚石衬底光学透过率的方法 [P].

吴艳霞 ;

于盛旺 ;

汪利敏 ;

刘颖 ;

高洁 ;

黑鸿君 ;

王永胜 .

中国专利 :CN115491637A ,2022-12-20

[4]

一种金刚石制备装置及其金刚石制备方法 [P].

康海霞 ;

凌勋利 ;

李珂 ;

朱梅 ;

鞠丰阳 ;

李森兰 .

中国专利 :CN115140732A ,2022-10-04

[5]

一种金刚石-类金刚石结构晶圆的制备方法 [P].

赵立山 ;

祁青 ;

李汶泽 ;

陈英豪 ;

易弘毅 .

中国专利 :CN117568925A ,2024-02-20

[6]

一种带有微结构的金刚石砂轮及其制备方法 [P].

郭兵 ;

张俊 ;

吴明涛 ;

赵清亮 ;

刘文超 .

中国专利 :CN109333385A ,2019-02-15

[7]

一种多尺度微结构金刚石器件及其制备方法 [P].

张凤林 ;

胡文涛 ;

袁志山 .

中国专利 :CN118854427A ,2024-10-29

[8]

一种金刚石生长托盘、金刚石生长装置及金刚石生长方法 [P].

曾凡初 ;

胡清明 .

中国专利 :CN117604628A ,2024-02-27

[9]

一种金刚石膜片制备方法及金刚石膜片 [P].

陈永超 ;

张坤锋 ;

张星 .

中国专利 :CN117328032A ,2024-01-02

[10]

金刚石制备方法 [P].

王镇 ;

金鹏 ;

屈鹏霏 ;

王占国 .

中国专利 :CN117594154A ,2024-02-23

← 1 2 3 4 5 →