一种光刻胶去胶液回收方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511152853.1

申请日：

2025-08-18

公开(公告)号：

CN120848132A

公开(公告)日：

2025-10-28

发明(设计)人：

吴廷斌杨欣请求不公布姓名

申请人：

苏州皓申智能科技有限公司

申请人地址：

215000 江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区兴浦路200号11幢402室

IPC主分类号：

G03F7/42

IPC分类号：

G03F7/039

代理机构：

苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257

代理人：

王双双

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-28	公开	公开
2025-11-14	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/42申请日:20250818

共 50 条

[1]

一种光刻胶去胶液 [P].

杜冰 ;

顾群艳 ;

梁豹 ;

鲍杰 ;

张兵 ;

朱坤 .

中国专利 :CN107577121A ,2018-01-12

[2]

新型光刻胶去胶液 [P].

杜冰 ;

方磊 ;

刘伟 ;

梁豹 ;

张兵 ;

赵建龙 ;

向文胜 ;

朱坤 ;

陆兰 .

中国专利 :CN109445256A ,2019-03-08

[3]

光刻胶剥离液废液的回收方法 [P].

魏任重 ;

徐雅玲 ;

黄源 ;

尹云舰 ;

连杰 .

中国专利 :CN102951761A ,2013-03-06

[4]

光刻胶的去胶方法 [P].

连庆庆 ;

蒋中伟 ;

王京 .

中国专利 :CN111722479A ,2020-09-29

[5]

一种光刻胶的去胶方法 [P].

陆丛希 .

中国专利 :CN120161689A ,2025-06-17

[6]

一种去除AZ光刻胶的去胶液 [P].

杜冰 ;

顾群艳 ;

梁豹 ;

鲍杰 ;

赵建龙 ;

张兵 ;

朱坤 ;

向文胜 .

中国专利 :CN106773562A ,2017-05-31

[7]

一种光刻胶去胶液及其制备方法和应用 [P].

梁豹 ;

方磊 ;

杜冰 ;

刘文永 ;

邱柱 ;

刘伟 ;

张茂 ;

张兵 ;

赵建龙 ;

向文胜 ;

朱坤 ;

陆兰 .

中国专利 :CN112540515A ,2021-03-23

[8]

光刻胶去除方法和去胶机 [P].

林政勋 ;

张云飞 ;

华义永 .

中国专利 :CN114660909B ,2025-08-26

[9]

光刻胶去除方法和去胶机 [P].

林政勋 ;

张云飞 ;

华义永 .

中国专利 :CN114660909A ,2022-06-24

[10]

一种光刻胶剥离废液的回收方法 [P].

李向峰 ;

高豹 ;

余何建 ;

黄安宁 ;

汪明海 ;

高鑫宇 ;

周军 .

中国专利 :CN120535145A ,2025-08-26

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