光刻胶的去胶方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202010579225.2
申请日
2020-06-23
公开(公告)号
CN111722479A
公开(公告)日
2020-09-29
发明(设计)人
连庆庆 蒋中伟 王京
申请人
申请人地址
100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
IPC主分类号
G03F742
IPC分类号
代理机构
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人
彭瑞欣;王婷
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
光刻胶去除方法和去胶机 [P]. 
林政勋 ;
张云飞 ;
华义永 .
中国专利 :CN114660909B ,2025-08-26
[2]
光刻胶去除方法和去胶机 [P]. 
林政勋 ;
张云飞 ;
华义永 .
中国专利 :CN114660909A ,2022-06-24
[3]
新型光刻胶去胶液 [P]. 
杜冰 ;
方磊 ;
刘伟 ;
梁豹 ;
张兵 ;
赵建龙 ;
向文胜 ;
朱坤 ;
陆兰 .
中国专利 :CN109445256A ,2019-03-08
[4]
光刻胶去除方法及光刻胶重制方法 [P]. 
邱靖尧 ;
谢玟茜 ;
刘立尧 ;
胡展源 .
中国专利 :CN110581065A ,2019-12-17
[5]
一种光刻胶的去胶方法 [P]. 
陆丛希 .
中国专利 :CN120161689A ,2025-06-17
[6]
去除光刻胶的方法及去胶机台 [P]. 
吴晶晶 .
中国专利 :CN117930596A ,2024-04-26
[7]
一种光刻胶去胶液 [P]. 
杜冰 ;
顾群艳 ;
梁豹 ;
鲍杰 ;
张兵 ;
朱坤 .
中国专利 :CN107577121A ,2018-01-12
[8]
去除光刻胶的方法以及再生光刻胶的方法 [P]. 
钟联盛 ;
魏其宏 ;
林信旭 .
中国专利 :CN1912749A ,2007-02-14
[9]
移除光刻胶的方法 [P]. 
郑台愚 .
中国专利 :CN101894751A ,2010-11-24
[10]
光刻胶的去除方法 [P]. 
杨峰 ;
谭宗良 .
中国专利 :CN102082089A ,2011-06-01