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一种半导体硅外延片生产用硅片清洗机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422913116.6
申请日：
2024-11-28
公开(公告)号：
CN223450854U
公开(公告)日：
2025-10-17
发明(设计)人：
顾金海
裴勇康
申请人：
国芯半导体（仪征）有限公司
申请人地址：
211400 江苏省扬州市仪征经济开发区闽泰大道1号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
B08B11/00
代理机构：
无锡苏盈专利代理有限公司 32787
代理人：
吴忠义
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-17 | 授权 | 授权 |