一种半导体硅外延片材料及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411507340.3

申请日：

2024-10-28

公开(公告)号：

CN119433693B

公开(公告)日：

2025-08-05

发明(设计)人：

戴广军王革峰卫国

申请人：

国芯半导体（仪征）有限公司

申请人地址：

211400 江苏省扬州市仪征经济开发区闽泰大道1号

IPC主分类号：

C30B25/02

IPC分类号：

H01L21/02 C30B29/06 C30B25/20 C30B25/14 C30B25/16

代理机构：

无锡苏盈专利代理有限公司 32787

代理人：

吴忠义

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-05	授权	授权
2025-02-14	公开	公开
2025-03-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C30B 25/02申请日:20241028

共 50 条

[1]

一种半导体硅外延片材料及其制备方法 [P].

戴广军 ;

王革峰 ;

卫国 .

中国专利 :CN119433693A ,2025-02-14

[2]

半导体硅外延片用转运装置 [P].

卫国 ;

柏小宁 .

中国专利 :CN223291382U ,2025-09-02

[3]

一种半导体多层外延片材料及其制备方法 [P].

徐永平 ;

顾金海 .

中国专利 :CN119352162B ,2025-06-03

[4]

一种半导体多层外延片材料及其制备方法 [P].

徐永平 ;

顾金海 .

中国专利 :CN119352162A ,2025-01-24

[5]

半导体硅外延片生产用定位机构 [P].

闪晨晨 ;

张毅 .

中国专利 :CN223723281U ,2025-12-26

[6]

一种半导体硅外延片检测用夹持装置 [P].

裴勇康 ;

陈泽 .

中国专利 :CN223123891U ,2025-07-18

[7]

一种半导体硅外延片生长用鼓泡器 [P].

顾金海 ;

闪晨晨 .

中国专利 :CN223150693U ,2025-07-25

[8]

一种半导体硅外延片生产用硅片清洗机 [P].

顾金海 ;

裴勇康 .

中国专利 :CN223450854U ,2025-10-17

[9]

一种半导体硅外延片生长中TCS集中供液装置 [P].

陈骏 ;

曾东林 .

中国专利 :CN223592885U ,2025-11-25

[10]

一种半导体外延片及其制备方法 [P].

闫其昂 ;

王国斌 .

中国专利 :CN120018659A ,2025-05-16

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