一种大尺寸MEMS微热板及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510950673.1

申请日：

2025-07-10

公开(公告)号：

CN120793832A

公开(公告)日：

2025-10-17

发明(设计)人：

王天双程飞翔孙鹏卢革宇

申请人：

吉林大学

申请人地址：

130015 吉林省长春市朝阳区前进大街2699号

IPC主分类号：

B81B7/00

IPC分类号：

G01N27/00 B81B7/02 B81C1/00

代理机构：

北京高沃律师事务所 11569

代理人：

申素霞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

吉林省长春市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-04	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B81B 7/00申请日:20250710
2025-10-17	公开	公开

共 50 条

[1]

一种MEMS微热板及其制备方法 [P].

时浩 ;

李浩 ;

马文力 ;

董文俊 ;

李霖 ;

袁海霞 .

中国专利 :CN117401643B ,2024-10-11

[2]

一种MEMS微热板及其制备方法 [P].

时浩 ;

李浩 ;

马文力 ;

董文俊 ;

李霖 ;

袁海霞 .

中国专利 :CN117401643A ,2024-01-16

[3]

MEMS微热板的制备方法及MEMS微热板 [P].

程鑫 ;

陈宇龙 ;

李明杰 .

中国专利 :CN114380269B ,2025-05-06

[4]

MEMS微热板的制备方法及MEMS微热板 [P].

程鑫 ;

陈宇龙 ;

李明杰 .

中国专利 :CN114380269A ,2022-04-22

[5]

一种微热板及其制作方法 [P].

杨黎 ;

孙浩 ;

侯明 ;

郭胜惠 ;

江国鑫 ;

赵秋妮 ;

叶小磊 .

中国专利 :CN119706733A ,2025-03-28

[6]

一种MEMS微热板及其制造方法 [P].

程鑫 ;

陈宇龙 ;

权敦航 ;

李以文 ;

王剑 ;

高一帆 .

中国专利 :CN107381495A ,2017-11-24

[7]

一种微热板及包括该微热板的MEMS气体传感器 [P].

古瑞琴 ;

王瑞铭 ;

高胜国 ;

王利利 ;

钟克创 ;

李彬 ;

张守超 .

中国专利 :CN212586286U ,2021-02-23

[8]

一种MEMS微热板 [P].

程鑫 ;

陈宇龙 ;

权敦航 ;

李以文 ;

王剑 ;

高一帆 .

中国专利 :CN207375750U ,2018-05-18

[9]

一种MEMS微热板式气体传感器及其制作方法 [P].

马天军 ;

李娜 ;

王振义 .

中国专利 :CN118533896A ,2024-08-23

[10]

一种基于多孔硅绝热层的微加热板及其制备方法 [P].

李卫 ;

冯志麟 ;

戴恩文 ;

刘菊燕 ;

丁超 .

中国专利 :CN107404775A ,2017-11-28

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