晶圆吸盘清洗设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202422681279.6

申请日：

2024-11-05

公开(公告)号：

CN223501817U

公开(公告)日：

2025-10-31

发明(设计)人：

茆宏郁言威高兴邓桂剑陆嘉黎李民

申请人：

傲迪特半导体（南京）有限公司

申请人地址：

210034 江苏省南京市栖霞区润华路3号

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

B08B13/00

代理机构：

南京鑫之航知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32410

代理人：

陈珉

法律状态：

授权

国省代码：

江苏省南京市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-31	授权	授权

共 50 条

[1]

晶圆清洗结构、晶圆清洗设备 [P].

周尤 ;

姚华东 ;

班恒生 ;

刘柏宏 .

中国专利 :CN223401573U ,2025-09-30

[2]

晶圆吸盘 [P].

张朝前 ;

马砚忠 ;

李少雷 ;

陈鲁 .

中国专利 :CN208336179U ,2019-01-04

[3]

晶圆清洗设备及其晶圆卡盘、晶圆清洗方法 [P].

赵宏宇 ;

李爱兵 ;

王锐廷 .

中国专利 :CN115706044A ,2023-02-17

[4]

晶圆清洗方法及晶圆清洗设备 [P].

金京宰 .

中国专利 :CN118610072A ,2024-09-06

[5]

晶圆清洗设备及其晶圆清洗方法 [P].

初国超 .

中国专利 :CN112133670B ,2024-06-21

[6]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

初国超 .

中国专利 :CN111081603B ,2024-02-27

[7]

晶圆清洗设备及其晶圆清洗方法 [P].

初国超 .

中国专利 :CN112133670A ,2020-12-25

[8]

晶圆清洗设备及晶圆清洗方法 [P].

初国超 .

中国专利 :CN111081603A ,2020-04-28

[9]

晶圆清洗设备 [P].

邓武锋 ;

陈枫 .

中国专利 :CN201868386U ,2011-06-15

[10]

晶圆清洗设备 [P].

时岱 ;

吴楠 ;

杨军 ;

包斌 .

中国专利 :CN215543149U ,2022-01-18

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