一种提高快速热处理工艺稳定性的结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511137140.8

申请日：

2025-08-14

公开(公告)号：

CN120914144A

公开(公告)日：

2025-11-07

发明(设计)人：

何建禹王文义初春张建

申请人：

盛吉盛半导体科技（北京）有限公司

申请人地址：

100176 北京市大兴区北京经济技术开发区荣华南路15号院2号楼7层703室

IPC主分类号：

H01L21/67

IPC分类号：

H01L21/687 C30B33/02

代理机构：

北京申翔知识产权代理有限公司 11214

代理人：

赵晓炜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-11-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20250814
2025-11-07	公开	公开

共 50 条

[1]

一种环缝热处理稳定性装置 [P].

董鹏涛 ;

赫照 .

中国专利 :CN223422733U ,2025-10-10

[2]

一种快速热处理工艺温度控制中的升温速率规划方法 [P].

郑秉全 ;

赵丽新 ;

金洲 ;

卢志辉 ;

李志达 ;

李宪想 ;

张显越 ;

程天敏 ;

崔江华 ;

祁广杰 .

中国专利 :CN119292070A ,2025-01-10

[3]

尖峰热处理设备稳定性的检测方法 [P].

曾庆麒 ;

杨锦 ;

汪军 ;

卢庄鸿 .

中国专利 :CN101894775A ,2010-11-24

[4]

一种高稳定性的热处理设备PM腔体 [P].

闾浩 ;

朴镇龙 ;

沈正洁 .

中国专利 :CN223705645U ,2025-12-23

[5]

一种用于提高生产中工艺稳定性的方法 [P].

史丹丹 ;

胡明 ;

罗世金 ;

张帜 ;

夏志良 .

中国专利 :CN110620040B ,2019-12-27

[6]

提高多次曝光稳定性的栅极返工工艺 [P].

张亮 ;

毛智彪 .

中国专利 :CN102446732A ,2012-05-09

[7]

一种提高热头工艺稳定性的控制方法 [P].

秦红波 ;

李晓刚 ;

王映红 ;

周涛 ;

信晓兵 ;

郑立康 ;

焦连辉 ;

霍建生 ;

唐伟 .

中国专利 :CN117655121A ,2024-03-08

[8]

一种合金钢的快速热处理工艺 [P].

何拥军 .

中国专利 :CN106048153A ,2016-10-26

[9]

一种提高铸件力学性能的热处理工艺 [P].

王善明 ;

刘海龄 .

中国专利 :CN118910382A ,2024-11-08

[10]

一种提高超高速轴承稳定性的热处理设备及其方法 [P].

李伟民 ;

李洪桥 ;

聂高法 .

中国专利 :CN119120883A ,2024-12-13

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