晶片搬运末端执行器

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202510629446.9
申请日
2025-05-16
公开(公告)号
CN120998855A
公开(公告)日
2025-11-21
发明(设计)人
N·科塔里
申请人
ASMIP私人控股有限公司
申请人地址
荷兰阿尔梅勒
IPC主分类号
H01L21/683
IPC分类号
H01L21/687 H01L21/677
代理机构
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人
王冉
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
[1]
搬运用末端执行器 [P]. 
程二亭 ;
王强 ;
孙金召 .
中国专利 :CN206236660U ,2017-06-09
[2]
末端执行器以及末端执行器装置 [P]. 
土肥小也香 ;
古贺宽规 ;
锅藤实里 .
中国专利 :CN112638597A ,2021-04-09
[3]
末端执行器及末端执行器装置 [P]. 
锅藤实里 ;
土肥小也香 ;
古贺宽规 .
日本专利 :CN112638598B ,2024-07-12
[4]
末端执行器及末端执行器装置 [P]. 
锅藤实里 ;
土肥小也香 ;
古贺宽规 .
中国专利 :CN112638598A ,2021-04-09
[5]
衬底搬运装置和末端执行器 [P]. 
K·坦蒂旺 ;
S·巴纳 ;
陈栋阳 ;
M·冈萨雷斯 .
:CN121215601A ,2025-12-26
[6]
末端执行器 [P]. 
王锋辉 ;
冯蓬勃 .
中国专利 :CN113276141A ,2021-08-20
[7]
末端执行器 [P]. 
林晓 ;
尚鹏程 ;
陈基 ;
蔡挺挺 ;
蔡永晓 .
中国专利 :CN308606079S ,2024-04-26
[8]
末端执行器 [P]. 
马青川 ;
李振祎 ;
樊瑜波 ;
刘宇尧 ;
柴志远 ;
李绪航 .
中国专利 :CN119924986B ,2025-10-21
[9]
末端执行器 [P]. 
姚丽英 ;
邹湘 ;
包越 ;
高培培 .
中国专利 :CN309524740S ,2025-09-30
[10]
末端执行器 [P]. 
王慰军 ;
杨桂林 ;
朱任峰 ;
方灶军 ;
张弛 .
中国专利 :CN113427399B ,2021-09-24